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中微半導體設備(上海)股份有限公司)是一家以中國為基地、面向全球的微觀加工高端設備公司，為積體電路和泛半導體行業提供極具競爭力的高端設備和高品質的服務。中微開發的等離子體刻蝕設備和化學薄膜設備是製造各種微觀器件的關鍵設備，可加工微米級和納米級的各種器件。